一般社団法人 日本機械学会関西支部

(社)日本機械学会関西支部

2007.3.30更新

第289回講習会
「表面分析・表層構造分析の原理・方法と適用事例 －分析実習付き－」
（申し込みコード番号：83-02）

協　賛 日本金属学会関西支部，日本建築学会近畿支部，日本原子力学会関西支部，日本航空宇宙学会関西支部，自動車技術会関西支部，日本材料学会関西支部，精密工学会関西支部，日本船舶海洋工学会，日本塑性加工学会関西支部，日本複合材料学会，土木学会関西支部，溶接学会関西支部，日本ガスタービン学会，日本伝熱学会，高分子学会関西支部，地盤工学会関西支部，資源・素材学会，日本接着学会，複合材料界面科学研究会，日本鋳造工学会関西支部，プラスチック成形加工学会，炭素材料学会，日本材料強度学会，日本鋼構造協会，日本鉄鋼協会関西支部，日本非破壊検査協会関西支部，日本溶接協会大阪府支部，日本鉄道技術協会，日本高圧力技術協会，日本セラミックス協会，日本コンクリート工学協会近畿支部，強化プラスチック協会，腐食防食協会関西支部，日本工作機械工業会，滋賀経済産業協会，京都工業会，奈良工業会，兵庫工業会
開催日
2007年 5月 24日（木）9：30～16：45
25日（金）9：30～16：50
会　場 (株)イオン工学研究所　１階セミナー室
　　大阪府枚方市津田山手2丁目8番1号／電話　072-859-6601(代)
　　（関西文化学術研究都市：津田サイエンスヒルズ内）
　　● JR学研都市線「津田」駅下車，京阪バスで約10分
　　※当日はチャーターバスで送迎します．集合：9:00　JR学研都市線「津田」駅 京阪バスロータリー（集合場所ご案内図）
趣　旨 表面分析ないし表層構造の分析は，近年さまざまな工学分野で利用される重要なツールとなっています．電子・半導体工学分野をはじめとして，トライボロジー分析，表面改質材料の開発，疲労・強度評価などへの新たな応用など機械工学分野への適用も広がりつつあります．
本講習会は，各種表面分析・表層構造分析の測定原理と実際に分析する際の分析機器の使用方法，機械工学分野，電子・半導体工学分野への応用事例などをわかり易く講義するとともに表面分析機器を使用する実習を通して実際に分析をする際の試料作成の注意点や分析方法，分析結果の処理などが体験できるたいへん実用的な内容になっています．
電子・半導体分野の技術者や研究者はもちろんのこと，新領域に携わる機械工学技術者・研究者，化学工学の分析関係に携わりもっと幅を広げたい技術者・研究者，さらには学生の皆様にも有益な内容となっておりますので多数の方の参加を希望いたします．
題目・内容・講師
5月24日（木）
時間 題目 内容 講師
9：30～11：00 －総論－　機械工学分野，電子・半導体工学分野における表面分析 主要な表面分析法および表層構造分析法について，それぞれの特徴や原理,必要性を概説し，機械工学分野などの研究における最近の先端分析技術の動向や将来の可能性などを総説します． 京都大学国際融合創造センター

　　　井手　亜里
11：10～12：10 透過電子顕微鏡（TEM）の原理・分析方法と適用事例 透過電子顕微鏡の測定原理や分析方法，EDS法などとの組み合わせなどの応用例，実際の分析事例などについて説明します． (株)イオン工学研究所

　　　青木　正彦
13：10～14：00 ラザフォード後方散乱分析（RBS）の原理・分析方法と適用事例 1価Heイオンを試料に高速で照射し,後方に散乱したHeのエネルギー及び強度を測定することによって試料表面の構成元素や組成，結晶性を分析するラザフォード後方散乱分析につき，その測定原理と特徴，適用事例について説明します． (株)イオン工学研究所

　　　長町　信治
14：00～14：50 二次イオン質量分析（SIMS）の原理・分析方法と適用事例

加速した一次イオンを固体表面に衝突させたときに発生する二次イオンを質量分離することにより深さ方向の元素分析などを行う二次イオン質量分析法について，その詳しい測定原理，特徴と実際の適用事例について説明します．

 (株)イオン工学研究所

　　　吉田　謙一
15：05～15：55 ナノ硬度測定の原理・測定方法と適用事例 微小領域の硬度及び弾性率を計測するナノインデンテーション試験法について、その計測原理と運用上の留意点、及び最新の技術動向などについて説明します． (株)島津製作所

　　　粉川　良平
15：55～16：45 X線分光分析（ESCA，XRD）の原理・分析方法と適用事例 X線を利用して材料の組成や結晶構造を分析するX線分光分析について，その測定原理，特徴や実際の分析事例について説明します． (株)イオン工学研究所

　　　石井　秀司
5月25日（金）
2日目は9時50分から16時35分まで，7班に分かれ下記の分析実習とイオン注入設備の見学を実施する．
9：30～9：45 実習に使用する分析装置について (株)イオン工学研究所

　　　浅利　正敏
9：50～16：35
（各実習は45分ずつ．途中昼食12：20～13：20）		 分析実習およびイオン注入設備見学 以下の6種類の表面・表層構造分析を実際の装置を用いて実演するとともに，分析作業の一部を全員に実際に体験いただきます．またクリーンルームに設置されています国内最高出力を有するイオン注入装置も見学いただきます．
　（1）高分解能透過電子顕微鏡（TEM）：薄膜結晶構造の観察
　（2）高分解能走査電子顕微鏡（SEM）：薄膜表面の観察
　（3）二次イオン質量分析（SIMS）：薄膜の組成深さ分析
　（4）X線光電子分光分析（ESCA）：金属と酸化物の表面局所組成・化学結合分析
　（5）X線回折装置（XRD）：薄膜サンプルの回折パターン測定と結晶性分析
　（6）ナノ硬度測定：シリコン基板上の薄膜の局所表面硬度測定
　（7）イオン注入設備見学
 (株)イオン工学研究所　応用事業部　分析技術部
16：35～16：50 分析実習に関する質疑応答 (株)イオン工学研究所　応用事業部　分析技術部
定　員 50名
申込締切 5月17日（木）　（定員に余裕があれば，２日前まで申込を受け付けます）
聴講料

会員35,000円（大学，官公庁関係17,500円，大学院生・学生員10,000円）
会員外55,000円

ただし，いずれも教材１冊分の代金とバス代、昼食代を含みます．
教材のみ ※今回は教材のみの販売はございません．
申込方法 受付を終了しました．
「関西支部第289回講習会申込」と題記し，(1)氏名・会員資格，(2)勤務先・所属部課名，(3)通信先住所・電話，(4)所属学協会名，(5)送金方法・送金額(内訳)・送金予定日および請求書の要・不要，(6)１日のみ参加の場合は参加日を明記のうえ，関西支部宛お申し込み下さい(FAX，E-mail可)．聴講料は後日送付する請求書に記載の銀行口座または郵便振替口座宛ご送金ください．現金書留または当日支払いも受け付けます．
その他

（１）申込受付後，聴講券をお送りしますので両日とも必ずご持参下さい．
（２）協賛学協会員の方も本会会員と同様にお取り扱い致します．
（３）昼食は2日間とも，機械学会にて弁当を用意致します．代金は上記聴講料に含まれます．
（４）受講をキャンセルされる場合は２日前までにご連絡願います．２日前までにご連絡のない場合は聴講料をお支払いいただきます．
（５）CPDポイント登録致しますので会員証をご持参下さい

※講習会の申し込みに際しお届けいただいた個人情報は，聴講券の送付，当支部からの連絡等にのみ使用させていただきます．



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